Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний

ГОСТ 25663-83

Группа Г82


МЕЖГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ


Оборудование вакуумное

НАСОСЫ ВАКУУМНЫЕ МЕХАНИЧЕСКИЕ

Методы испытаний

Vacuum equipment. Mechanical vacuum pumps. Test methods



МКС 23.160
ОКП 62 9448

Дата введения 1984-01-01


ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ

1. УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.03.83 N 1068

2. ВВЕДЕН ВПЕРВЫЕ

3. Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81

4. ССЫЛОЧНЫЕ НОРМАТИВНО-ТЕХНИЧЕСКИЕ ДОКУМЕНТЫ

Обозначение НТД, на который дана ссылка

Номер пункта

ГОСТ 5197-85

Вводная часть

ГОСТ 26790-85

Вводная часть


5. Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС 4-94)

6. ИЗДАНИЕ (май 2010 г.) с Изменениями N 1, 2, утвержденными в апреле 1984 г., ноябре 1988 г. (ИУС 8-84, 2-89)


Настоящий стандарт распространяется на механические вакуумные насосы объемного действия, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, работающие при выпускном давлении, равном атмосферному, и создающие на входе давление менее 1000 Па, и устанавливает методы измерения предельного остаточного давления и быстроты действия.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3409-81.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197 и ГОСТ 26790.

(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).

1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ

1. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ПРЕДЕЛЬНОГО ОСТАТОЧНОГО ДАВЛЕНИЯ

1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на откачивании газа из специальной измерительной камеры испытуемым насосом с последующим измерением давления в камере через равные промежутки времени при постоянной температуре.

1.2. Испытательная установка представлена на черт.1.

Черт. 1. Испытательная установка

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)


1 - испытуемый насос; 2 - измерительная камера; 3 - измерительные преобразователи давления; 4 - натекатель; 5 - напускная трубка

Черт. 1


1.3. Измерительная камера представлена на черт.2.

Черт. 2. Измерительная камера

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)

1 - направление потока газа; 2 - напускная трубка; 3 - место подсоединения измерительного преобразователя давления

Черт. 2



Объем измерительной камеры, дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), определяют по формуле

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), (1)


где ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - ожидаемая быстрота действия испытуемого насоса, дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)/с;

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - число оборотов в минуту, минГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2);

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - число циклов в каждом обороте;

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - объем газа, всасываемого за один цикл компрессии, дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2).

1.3.1. Объемы и диаметры измерительных камер приведены в таблице.

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), мм

0,26

1,3

100

Св.

0,26

"

1,10

5,5

160

"

1,10

"

4,20

21,0

250

"

4,20

"

17,00

85,0

400

"

17,00

"

65,00

325,0

630

65,00

"

260,00

1300,0

1000


1.3.2. Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса.

1.3.3. Поток газа, напускаемого в измерительную камеру, должен быть направлен строго по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры на расстоянии от него, равном диаметру камеры.

1.3.4. Измерительные преобразователи давления должны быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.

1.3.5. Соединение измерительной камеры с испытуемым насосом допускается осуществлять с помощью переходника, представленного на черт.3.


Черт. 3. Переходник, с помощью которого осуществляется соединение измерительной камеры с испытуемым насосом

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)


1 - диаметр входного отверстия испытуемого насоса

Черт. 3


1.4. Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с относительной погрешностью не более:

±7% - при измерении давлений свыше 1 Па;

±15%

"

"

"

в диапазоне 1-10ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) Па.

1.5. Измерители потоков газов должны обеспечивать измерение с допускаемыми погрешностями:

±3% - для потоков более 1 Вт;

± 5%

"

"

от 1 до 10ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) Вт

±10%

"

"

менее 10ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) Вт

1.6. В качестве газа для испытаний следует применять сухой воздух или другой сухой газ.

1.7. Перед сборкой установки все поверхности, находящиеся в вакууме, должны быть очищены и обезжирены.

1.8. Перед началом измерения должна быть проверена герметичность испытательной установки. Допускаемый поток натекания из атмосферы не должен превышать значения

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), (2)


где ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - предельное остаточное давление, Па;

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - номинальная быстрота действия насоса, дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)/с;

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - допускаемый поток натекания, Вт.

1.9. Измерение должно быть проведено при следующих климатических условиях:

температура окружающей среды 15 °С - 25 °С с колебаниями не более ±1 °С;

относительная влажность не более 80% при температуре 25 °С;

атмосферное давление 8·10ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)-1·10ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) Па.

1.10. Проведение измерения

Предельное остаточное давление следует измерять в последовательности, приведенной ниже:

включить испытуемый насос (черт.1) и вывести его на рабочий режим согласно инструкции по эксплуатации:

откачать из измерительной камеры газ при закрытом натекателе до установления в ней предельного остаточного давления.

Предельное остаточное давление считают установленным, если в течение 1 ч давление на входе в насос меняется в пределах погрешности измерительного прибора (п.1.4).

Давление следует измерять измерительными преобразователями давления не реже чем через каждые 30 мин.

1.11. Оформление результатов измерения

Результаты измерения оформляют протоколом, в который заносят: объект, условия и метод испытаний, аппаратуру, результаты измерений и заключение.

2. МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ БЫСТРОТЫ ДЕЙСТВИЯ

2.1. Метод основан на установлении некоторого постоянного давления на входе в насос при создании определенного потока газа через натекатель в измерительную камеру, измерении значения этого потока и давления на входе в насос и вычислении быстроты действия насоса.

2.2. Аппаратура - по пп.1.2, 1.3, 1.4, 1.5.

2.3. Подготовка к измерению - по пп.1.7, 1.8.

2.2, 2.3. (Измененная редакция, Изм. N 2).

2.4. Быстроту действия насоса следует измерять при постоянном давлении на входе в насос, создающемся при определенном потоке газа, в последовательности, приведенной ниже:

включить испытуемый насос (черт.1) и откачать из измерительной камеры газ до предельного остаточного давления (п.1.10);

если необходимо измерить быстроту действия насоса только для одного значения давления, из измерительной камеры откачивают газ до давления, равного 0,05 ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) (где ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) - давление на входе в насос, при котором требуется измерить быстроту действия испытуемого насоса);

не прекращая откачки, установить в измерительной камере с помощью натекателя давление ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2). Давление считают установленным, если результаты трех последовательных измерений, проведенных с интервалом не менее 60 с, не отличаются более чем на 10%;

одновременно с измерением давления ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) необходимо измерять поток газа ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2), поступающий в измерительную камеру через натекатель;

вычислить значение быстроты действия насоса, дмГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)/с, при заданном давлении по формуле

ГОСТ 25663-83 Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные механические. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2) (3)


Быстроту действия насоса следует измерять при различных значениях давления, проводя не менее трех измерений в каждом десятичном диапазоне (приблизительно для значений 2,5; 5; 10). Измерение следует начинать с самого низкого давления.

2.5. Обработка результатов измерения

Зависимость быстроты действия насоса от давления следует изобразить графически: на логарифмическую ось абсцисс нанести значения давлений, а на линейную ось ординат - соответствующие значения быстроты действия.

2.6. Протокол испытаний - по п.1.11.


ПРИЛОЖЕНИЕ. (Исключено, Изм. N 2).