Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний

ГОСТ 25662-83*
(СТ СЭВ 3407-81)

Группа Г82

______________
* Наименование стандарта. Измененная редакция, Изм. N 2.

ОКП 62 9448

Дата введения 1984-01-01

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 3 марта 1983 г. N 1067 срок действия установлен с 01.01.84 до 01.01.89**
_______________
** Ограничение срока действия снято по протоколу N 4-93 Межгосударственного Совета по стандартизации, метрологии и сертификации (ИУС N 4, 1994 год). - Примечание изготовителя базы данных.

* ПЕРЕИЗДАНИЕ (июнь 1984 г.) с Изменением N 1, утвержденным в апреле 1984 г. (ИУС N 8-84).

ВНЕСЕНО Изменение N 2, утвержденное и введенное в действие Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 03.11.88 N 3637 с 01.01.89

Изменение N 2 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 2, 1989 год

Настоящий стандарт распространяется на диффузионные вакуумные насосы с водяным охлаждением, применяемые в вакуумных системах технологического оборудования для производства изделий электронной техники, предназначенные для откачивания из герметичных объемов воздуха, газов и парогазовых смесей, предварительно очищенных от капельной влаги и механических загрязнений и неагрессивных к материалам конструкций.

Степень соответствия настоящего стандарта СТ СЭВ 3407-81 приведена в приложении.

Термины, применяемые в настоящем стандарте, и их пояснения - по ГОСТ 5197-85 и ГОСТ 26790-85.

(Измененная редакция, Изм. N 1, 2).

Разделы 1, 2. (Исключены, Изм. N 2).

3. МЕТОДЫ ИСПЫТАНИЙ

3.1. Измерение предельного остаточного давления

3.1.1. Метод измерения предельного остаточного давления основан на измерении давления в специальной камере, откачиваемой испытуемым насосом, через равные промежутки времени при постоянной температуре.

3.1.2. Испытательная установка представлена на черт.1.

ГОСТ 25662-83 (СТ СЭВ 3407-81) Оборудование вакуумное. Насосы вакуумные диффузионные. Методы испытаний (с Изменениями N 1, 2)

1 - измерительная камера; 2, 5 - измерительные преобразователи давления; 3 - диффузионный насос; 4 - клапан ; 6 - клапан ; 7 - механический насос

Черт.1

3.1.3. Измерительная камера представлена на черт.2.

1 - направление потока газа; 2 - напускная трубка; 3 - место подсоединения вакуумметра

Черт.2

Ось камеры должна быть перпендикулярна к плоскости входного фланца насоса, диаметр камеры должен быть равен условному проходу на входе насоса.

Поток напускаемого в измерительную камеру газа должен быть направлен по оси камеры в сторону, противоположную входному фланцу камеры, на расстоянии от него, равном диаметру камеры.

Измерительные преобразователи должны быть расположены на расстоянии 0,5 диаметра камеры от входного фланца камеры.

3.1.4. Вакуумметры, используемые для измерения давления в измерительной камере, должны обеспечивать измерения с относительной погрешностью не более:

±10% - при измерении давлений свыше 1 Па;

±20% " " " в диапазоне 1·10 Па.

3.1.5. Измерители потоков газа должны обеспечивать измерение с относительной погрешностью:

± 3% - для потоков более 1 Вт;

±5% " " от 1 до 10 Вт;

±10% " " менее 10 Вт.

3.1.6. При измерении следует применять сухой воздух или другой сухой газ.

Перед сборкой установки все поверхности, находящиеся в вакууме, должны быть очищены, высушены и обезжирены.

Для сокращения времени достижения предельного остаточного давления допускается прогревать камеру до максимально допускаемой температуры.

3.1.7. Измерение следует проводить при следующих климатических условиях:

температура окружающей среды (288-298) К±1 К;

относительная влажность не более 80% при температуре 298 К;

атмосферное давление 8,5·10-1·10 Па.

3.1.8. Предельное остаточное давление следует измерять в последовательности, приведенной ниже:

включить насос (черт.1) и вывести его на рабочий режим согласно инструкции по эксплуатации;

откачать из измерительной камеры газ при закрытом клапане до установления в ней предельного остаточного давления.

Предельное остаточное давление считают установленным, если в течение 1 ч давление на входе в насос меняется в пределах погрешности измерительного прибора (пп.3.1.3 и 3.1.4).

3.1.9. Оформление результатов измерений.

Результаты измерений оформляют протоколом, в котором указывают:

типы используемых измерительных приборов;

мощность нагревателя насоса;

входную и выходную температуры охлаждающей воды;

скорость потока охлаждающей воды;

температуру окружающей среды;

марку и объем рабочей жидкости, применяемой в насосе;

тип уплотнителя на входе насоса;

тип и быстроту действия форвакуумного насоса;

выпускное давление диффузионного насоса.

3.2. Измерение быстроты действия насоса

3.2.1. Метод измерения быстроты действия насоса основан на установлении некоторого постоянного давления на входе в насос при создании определенного потока газа через клапан в измерительную камеру, измерении значения этого потока и давления на входе в насос и вычислении по ним быстроты действия.

3.2.2. Аппаратура - по пп.3.1.2; 3.1.3; 3.1.4; 3.1.5.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

3.2.3. Быстроту действия насоса следует измерять при постоянном давлении на входе в насос, создающемся при определенном потоке газа, в последовательности, приведенной ниже:

включить насос (черт.1) и откачать из измерительной камеры газ до предельного остаточного давления (п.3.1). Допускается откачивать из измерительной камеры газ до давления, равного 0,1 (где - давление на входе, в насос, при котором требуется измерить быстроту действия испытуемого насоса);

не прекращая откачки, установить в измерительной камере с помощью клапана давление . Давление считают установленным, если результаты трех последовательных измерений, проведенных с интервалом не менее 60 с, не отличаются более чем на 10%. Значение давления определяют как среднее арифметическое;

одновременно с измерением давления необходимо измерять поток газа , поступающий в измерительную камеру через натекатель;

вычислить быстроту действия насоса , дм/с, при заданном давлении по формуле

где - поток газа, Вт;

- измеряемое давление, Па.

Быстроту действия насоса следует измерять при различных значениях давления, проводя не менее трех измерений в каждом десятичном диапазоне (приблизительно для значений 2,5; 5; 10). Измерение следует начинать с самого низкого давления.

3.2.4. Обработка результатов измерений

Зависимость быстроты действия насоса от давления на входе насоса следует изобразить графически: на логарифмическую ось абсцисс нанести значения давлений, а на линейную ось ординат - соответствующие значения быстроты действия.

3.2.5. Оформление результатов измерений - по п.3.1.9.

3.3. Измерение наибольшего выпускного давления

3.3.1. Метод основан на измерении выпускного давления, 10%-ное превышение которого вызывает не менее 10-кратного увеличения впускного давления в измерительной камере.

3.3.2. Аппаратура - по пп.3.1.2; 3.1.3; 3.1.4; 3.1.5.

(Измененная редакция, Изм. N 2).

3.3.3. Подготовка к измерению - по п.3.1.6.

3.3.4. Измерение наибольшего выпускного давления без нагрузки следует проводить в последовательности, приведенной ниже:

откачать из измерительной камеры газ при закрытых клапанах и до предельного остаточного давления (п.3.1). Для сокращения времени измерения допускается откачивать газ из измерительной камеры до давления не более 10 (где - предельное остаточное давление);

плавно открывая клапан , увеличивать выпускное давление до значения, при котором резко повышается впускное давление не менее чем в 10 раз. Это значение считают наибольшим выпускным давлением насоса без нагрузки.

Первоначальное давление на выходе насоса должно быть менее 10% измеряемого наибольшего выпускного давления.

3.3.5. Измерение наибольшего выпускного давления с нагрузкой следует проводить в последовательности, приведенной ниже:

откачать газ из измерительной камеры при закрытых клапанах и до предельного остаточного давления (п.3.1). Для сокращения времени измерения допускается откачивать газ из измерительной камеры до давления не более 10 ;

открыть клапан и при достижении заданного давления измерить поступающий газовый поток;

плавно открывая клапан , определить наибольшее выпускное давление, относящееся к установившемуся газовому потоку (п.3.3.4).

Данную операцию проделать несколько раз для различных значений поступающих потоков до получения максимального потока, необходимого для нормальной работы насоса.

Клапан перекрывают между последующими операциями.

Максимальный поток при нормальной стабильной работе насоса зависит от быстроты действия форвакуумного насоса. Для проведения измерений следует подбирать форвакуумный насос с быстротой действия, обеспечивающей нормальную стабильную работу диффузионного насоса.

3.3.6. Обработка результатов измерений.

Наибольшее выпускное давление следует определять при работе насоса без нагрузки и с максимальной нагрузкой.

При отсутствии резкого повышения впускного давления зависимость значения выпускного давления от впускного необходимо изобразить графически.

3.3.7. Оформление результатов измерений - по п.3.1.9.

ПРИЛОЖЕНИЕ (рекомендуемое). Соответствие требований СТ СЭВ 3407-81 требованиям ГОСТ 25662-83

ПРИЛОЖЕНИЕ
Рекомендуемое

ГОСТ 25662-83		СТ СЭВ 3407-81
Пункт	Содержание требований	Пункт	Содержание требований
-	-	Раздел 1	Основные параметры
-	-	Раздел 2	Технические требования

ПРИЛОЖЕНИЕ. (Измененная редакция, Изм. N 2).