Вакуумная техника. Термины и определения

ГОСТ 5197-85
(СТ СЭВ 4751-84,
СТ СЭВ 4839-84,
СТ СЭВ 4840-84)

Группа Т00

ОКСТУ 6360

Дата введения 1986-07-01

Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 27 ноября 1985 г. N 3743 срок введения установлен с 01.07.86

ВЗАМЕН ГОСТ 5197-70

Настоящий стандарт устанавливает термины и определения понятий в области вакуумной техники.

Термины, установленные настоящим стандартом, обязательны для применения во всех видах документации и литературы, входящих в сферу действия стандартизации или использующих результаты этой деятельности.

Настоящий стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 4840-84.

Стандарт соответствует СТ СЭВ 4751-84, СТ СЭВ 4839-84 в части, указанной в справочном приложении 2.

Для каждого понятия установлен один стандартизованный термин.

Применение терминов - синонимов стандартизованного термина не допускается.

Приведенные определения можно при необходимости изменять, вводя в них производные признаки, раскрывая значение используемых в них терминов, указывая объекты, входящие в объем определяемого понятия. Изменения не должны нарушать объем и содержание понятий, определенных в данном стандарте.

В случаях, когда в термине содержатся все необходимые и достаточные признаки понятия, определение не приведено и в графе "Определение" поставлен прочерк.

В стандарте в качестве справочных приведены иноязычные эквиваленты стандартизованных терминов на немецком (D), английском (Е), французском (F) языках.

В стандарте имеется справочное приложение терминов общетехнических понятий, применяемых в вакуумной технике.

В стандарте приведены алфавитные указатели содержащихся в нем терминов на русском языке и иноязычных эквивалентов.

Стандартизованные термины набраны полужирным шрифтом.

Термин	Определение
ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ
1. Вакуум D. Vakuum Е. Vacuum F. Vide	Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного
2. Вакуумная техника D. Vakuumtechnik Е. Vacuum technology F. Technique du vide	Техника получения, поддержания вакуума и проведения вакуумных измерений
3. Степень вакуума D. Vakuumbereiche Е. Ranges of vacuum F. Domaines de vide	Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса. Примечание. Принимают следующие интервалы давлений: от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума; от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума; от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума; ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума
4. Вакуумное масло D. Е. Vacuum pump oil F. Huile de pompe vide primaire	Масло с малой упругостью паров, предназначенное для применения в вакуумных насосах
ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ
5. Вакуумная система D. Vakuumsystem Е. Vacuum system F. vide	Совокупность взаимосвязанных устройств для создания, повышения и поддержания вакуума, приборов для вакуумных измерений, а также откачиваемых сосудов и связывающих их вакуумных трубопроводов
6. Вакуумная установка D. Vakuumanlage Е. Vacuum plant F. Installation de vide	Установка, состоящая из вакуумной системы и устройств, обеспечивающих ее действие
7. Вакуумный агрегат D. Vakuumeinheit Е. Vacuum unit F. vide	Вакуумная установка, конструктивно выполненная как единое целое
8. Откачной пост D. Pumpstand Е. Pumping station F. Stand de pompage	Вакуумная установка, предназначенная для откачки, наполнения и тренировки изделий
9. Откачиваемый вакуумный сосуд D. Vakuumkamer Е. Pumped container F. Enceinte	Сосуд, в котором создается вакуум
10. Элемент вакуумной системы D. Vakuumsystemselement Е. Element of vacuum system F. Element du vide	-
11. Вакуумный насос D. Vakuumpumpe Е. Vacuum pump F. Pompe vide	Устройство, предназначенное для создания, повышения и поддержания вакуума
12. Вакуумная ловушка D. Falle Е. Trap F.	Элемент вакуумной системы, предназначенный для предотвращения проникновения паров и газов из одной части вакуумной системы в другую или для снижения их парциального давления
13. Вакуумный клапан D. Vakuumventil Е. Vacuum valve F. Soupape de vide	Элемент вакуумной системы, позволяющий регулировать или полностью перекрывать поступление газа в вакуумную систему
14. Вакуумный затвор D. Vakuumschlensenventil Е. Vacuum gate valve F.	Вакуумный клапан, позволяющий соединять и разобщать элементы вакуумной системы
15. Напускной вакуумный клапан D. Beluftungsvakuumventil Е. Admittance vacuum valve F. Robinet d'air	Вакуумный клапан, предназначенный для напуска воздуха или газа в вакуумную систему
16. Вакуумный натекатель D. Nadelvakuumventil E. Air admittance vacuum valve F. Robinet aiguille	Напускной вакуумный клапан, предназначенный для напуска малых потоков газа и их регулировки
17. Вакуумный ввод D. E. Vacuum feedthrough F. Passage du vide	Элемент вакуумной системы, служащий для передачи в откачиваемый вакуумный сосуд механической или электрической энергии без нарушения вакуума
18. Вакуумный трубопровод D. Vakuumrohrleitung E. Vacuum pipework F. Conduite vide	Элемент вакуумной системы, представляющий собой трубопровод, по которому перемещается газ
19. Форвакуумный трубопровод D. Vorpumpenrohrleitung E. Backing line F. Conduite vide	Вакуумный трубопровод, служащий для присоединения к форвакуумному насосу
20. Байпасный трубопровод D. Umwegleitung E. Bypass line F. Conduite by-pass	Вакуумный трубопровод, предназначенный для откачки сосуда, минуя высоковакуумный насос
21. Вакуумное защитное устройство D. Vakuumsicherheitsvorrichtung E. Vacuum protective device F. Dispositif de	Элемент вакуумной системы, предназначенный для быстрого разобщения участка вакуумной системы, где произошел прорыв атмосферного воздуха, и остальной ее части
22. Уравнительный вакуумный баллон D. Druckausgleichskolben E. Equal vessel F. Ballon de pression	Элемент вакуумной системы, предназначенный для выравнивания колебаний давления в ней
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ
23. Низковакуумный насос D. Grobvakuumpumpe E. Rough vacuum pump F. Pompe vide primaire	Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме, начиная от атмосферного, и создающий давление, лежащее в интервале, характерном для низкого вакуума
24. Высоковакуумный насос D. Endvakuumpumpe E. High vacuum pump F. Pompe vide secondaire	Вакуумный насос, работающий на ступени самого низкого давления системы, состоящей из двух или более последовательно соединенных насосов
25. Форвакуумный насос D. Vorvakuumpumpe E. Backing vacuum pump F. Pompe primaire pour Ie vide	Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки
26. Бустерный вакуумный насос D. Boostervakuumpumpe E. Booster vacuum pump F. Pompe vide	Вакуумный насос, устанавливаемый между форвакуумным и высоковакуумным насосами с целью приведения в соответствие выпускного давления высоковакуумного насоса с впускным давлением форвакуумного насоса
27. Вакуумный насос предварительного разрежения D. Vorvakuumpumpe E. Roughing vacuum pump F. Pompe pour Ie vide	Вакуумный насос, предназначенный для понижения давления в откачиваемом объеме от атмосферного до значения, при котором может начать работу другой вакуумный насос или система насосов
ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
28. Газоперекачивающий вакуумный насос D. Gastransfervakuumpumpe E. Pump for gas transporting F. Pompe vide du transport gazeus	Вакуумный насос, в котором перемещение газа от входа к выходу осуществляется либо вследствие механического движения рабочих частей насоса, либо за счет захвата газа или молекул газа струей рабочего вещества, либо за счет воздействия электрического и магнитного полей или одного электрического поля
29. Механический вакуумный насос D. Rotationsvakuumpumpe E. Vacuum mechanical pump F. Pompe vide	Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на перемещении газа вследствие механического движения рабочих частей насоса
30. Вакуумный насос объемного действия D. E. Positive displacement vacuum pump F. Pompe vide	Механический вакуумный насос, в котором объем, заполненный газом, периодически отсекается от входа и перемещается к выходу
31. Поршневой вакуумный насос D. Hubkolbenvakuumpumpe Е. Piston vacuum pump F. Pompe vide piston alternatif	Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа происходят в результате возвратно-поступательного движения поршня
32. Вакуумный насос с масляным (жидкостным) уплотнением D. (flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe Е. Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump F. Pompe vide bain d'huile ( bain de liquide)	Вакуумный насос объемного действия, в котором для заполнения зазоров между движущимися относительно друг друга рабочими частями насоса и для уменьшения вредного пространства в рабочей камере в конце процесса сжатия используют вакуумное масло или жидкость
33. Газобалластный вакуумный насос D. Gasballastvakuumpumpe Е. Gas ballast vacuum pump F. Pompe vide injection de gaz	Вакуумный насос с масляным уплотнением, снабженный устройством для дозированной подачи неконденсирующегося газа с целью предотвращения конденсации откачиваемых паров в насосе
34. Вакуумный насос с сухим уплотнителем D. Trockenlaufende Vakuumpumpe Е. Dry-sealed vacuum pump F. Pompe vide	Вакуумный насос объемного действия без масляного (жидкостного) уплотнения
35. Вращательный вакуумный насос D. Е. Rotary vacuum pump F. Pompe vide tournant	Вакуумный насос объемного действия, в котором сжатие и выброс газа осуществляются в результате вращения ротора
36. Пластинчато-роторный вакуумный насос D. Drehschiebervakuumpumpe Е. Sliding vane rotary vacuum pump F. Pompe vide palettes	Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается тангенциально относительно неподвижной поверхности статора, при этом две или более пластины, скользящие в прорезях ротора и прижимающиеся к внутренней стенке статора, делят камеру статора на полости с изменяющимся объемом
37. Пластинчато-статорный вакуумный насос D. Drehkolbenvakuumpumpe Е. Rotary piston vacuum pump F. Pompe vide piston tournant	Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается, скользя по внутренней стенке статора, при этом пластина, движущаяся относительно статора, прижимается к ротору и делит рабочую камеру на части с изменяющимся объемом
38. Плунжерный вакуумный насос D. Sperrschiebervakuumpumpe Е. Rotary plunger vacuum pump F. Pompe vide piston oscillant	Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор вращается относительно внутренней стенки статора, при этом пластина, жестко закрепленная на роторе, делит рабочую камеру на полости с изменяющимся объемом и скользит в золотнике, колеблющемся в соответствующем гнезде статора
39. Жидкостно-кольцевой вакуумный насос D. Е. Liquid ring vacuum pump F. Pompe vide anneau liquide	Вращательный вакуумный насос, в котором эксцентрично установленный ротор с закрепленными на нем лопатками отбрасывает жидкость к стенке статора; жидкость принимает форму кольца, концентрического относительно статора, и вместе с лопатками ротора образует полости с изменяющимся объемом
40. Двухроторный вакуумный насос D. Е. Roots vacuum pump F. roots	Вращательный вакуумный насос, рабочая камера в котором образуется корпусом и профильными роторами, синхронно вращающимися в противоположных направлениях
41. Трохоидный вакуумный насос D. Kreiskolbenvakuumpumpe Е. Trochoid pump F. Pompe trochoide	Вращательный вакуумный насос, у которого центр тяжести ротора, имеющего в поперечном сечении эллипс, описывает окружность, а рабочая камера насоса имеет в поперечном сечении форму трохоиды
42. Кинетический вакуумный насос D. Kinetische Vakuumpumpe Е. Kinetic vacuum pump F. Pompe vide	Механический вакуумный насос, в котором молекулам газа импульс движения передается таким образом, что газ непрерывно перемещается от входа к выходу насоса
43. Вакуумный турбонасос D. Turbovakuumpumpe Е. Turbine vacuum pump F. turbine	Кинетический вакуумный насос, в котором импульс движения газу передается от вращающихся твердых поверхностей
44. Осевой вакуумный турбонасос D. Axialische Turbovakuumpumpe Е. Axial flow turbine vacuum pump F. turbine flux axial	Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу вдоль оси вращения
45. Центробежный вакуумный турбонасос D. Radialische Turbovakuumpumpe Е. Radial flow turbine vacuum pump F. turbine flux radial	Вакуумный турбонасос, в котором импульс движения передается газу в радиальном направлении
46. Струйный вакуумный насос D. Treibmittelvakuumpumpe Е. Jet kinetic vacuum pump F. Pompe vide jet	Газоперекачивающий вакуумный насос, откачивающее действие которого основано на захвате удаляемого газа струей жидкости, пара или газа
47. Жидкостно-струйный вакуумный насос D. Е. Liquid jet vacuum pump F. Pompe vide anneau liquide	Струйный вакуумный насос, в котором используют струю жидкости
48. Газоструйный вакуумный насос D. Gasstrahlvakuumpumpe Е. Gas jet vacuum pump F. Ejecteur gaz pour Ie vide	Струйный вакуумный насос, в котором используют струю газа
49. Пароструйный вакуумный насос D. Dampfstrahlvakuumpumpe Е. Vapour jet vacuum pump F. Ejecteur vapeur pour Ie vide	Струйный вакуумный насос, в котором используют струю пара
50. Эжекторный вакуумный насос D. Treibmittelstrachlvakuumpumpe Е. Ejector vacuum pump F. Pompe vide ejecteur	Пароструйный низковакуумный насос, в котором происходит турбулентно-вязкостный захват газа струей
51. Диффузионный вакуумный насос D. Diffusionsvakuumpumpe Е. Diffusion pump F. Pompe diffusion	Пароструйный высоковакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю
52. Диффузионно-эжекторный вакуумный насос D. Diffusionsjekterpumpe Е. Diffusion-ejector pump F. Pompe diffusion et ejecteur	Пароструйный вакуумный насос, в котором захват газа струей происходит за счет диффузии газа в струю и турбулентно-вязкостного захвата газа струей
53. Самоочищающийся диффузионный вакуумный насос D. Selbstreinigende Е. Self purifying diffusion pump F. Pompe diffusion autorectifiante	Диффузионный вакуумный насос специальной конструкции, в котором летучие примеси не возвращаются в кипятильник, а направляются к выходу
54. Фракционный диффузионный вакуумный насос D. Fraktionierende Е. Fractionating diffusion pump F. Pompe diffusion fractionnante	Диффузионный вакуумный насос, в котором откачка газа из ступени самого низкого давления осуществляется более плотными компонентами рабочего вещества, представляющими собой струю пара низкого давления, а откачка из ступеней более высокого давления - менее плотными компонентами с более высоким давлением пара
55. Ионный вакуумный насос D. lonentransferpumpe Е. Ion transfer vacuum pump F. Pompe ionisation vide	Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля
ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ
56. Газоулавливающий вакуумный насос D. Gasbindende Vakuumpumре Е. Entrapment vacuum pump F. Pompe vide fixation	Вакуумный насос, в котором используется принцип сорбции или конденсации молекул газа на внутренних поверхностях насоса
57. Сорбционный вакуумный насос D. Sorptionspumpe Е. Sorption vacuum pump F. Pompe vide sorption	Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие сорбции газа
58. Адсорбционный вакуумный насос D. Adsorptionspumpe Е. Adsorption vacuum pump F. Pompe vide physisorption	Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит вследствие физической сорбции газа пористым сорбентом при низкой температуре
59. Геттерный вакуумный насос D. Gettervakuumpumpe Е. Getter vacuum pump F. Pompe vide sorbeur	Сорбционный вакуумный насос, в котором откачка происходит преимущественно вследствие хемосорбции газа геттером
60. Испарительный геттерный вакуумный насос D. Sublimations getter vakuumpumpe Е. Sublimation vacuum pump F. Pompe vide sublimation sorbeur	Геттерный вакуумный насос, в котором поглощающая поверхность обновляется путем конденсации на ней термически испаряемого геттера
61. Геттерно-ионный вакуумный насос D. lonengettervakuumpumpe Е. Getter ion vacuum pump F. Pompe vide ionique sorbeur	Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера
62. Испарительно-ионный вакуумный насос D. lonenverdampfervakuumpumpe Е. Sublimation ion vacuum pump F. Pompe vide ionique sublimation	Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения
63. Магнитный электроразрядный вакуумный насос D. Е. Sputter ion pump F. Pompe ionique	Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле
64. Конденсационный вакуумный насос D. Kondensationspumpe Е. Condenserpump F. Pompe condenser	Газоулавливающий вакуумный насос, в котором откачку производят путем конденсации газа на охлаждаемых поверхностях
65. Вакуумный крионасос D. Kryovakuumpumpe Е. Cryopump F. Pompe cryostatique	Конденсационный или сорбционный насос с рабочими поверхностями, охлаждаемыми до сверхнизких температур
66. Комбинированный вакуумный насос D. Vakuumpumpkombination Е. Combined vacuum pump F. Pompe vide	Комбинации геттерного вакуумного насоса, магнитного электроразрядного вакуумного насоса и вакуумного крионасоса в различных сочетаниях, размещенных в одном корпусе
ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК
67. Конденсационная вакуумная ловушка D. Е. Cold trap F. refroidi	Вакуумная ловушка, действие которой основано на конденсации паров и газов на внутренних охлаждаемых поверхностях
68. Сорбционная вакуумная ловушка D. Sorptionsfalle Е. Sorption trap F. sorption	Вакуумная ловушка, действие которой основано на сорбции паров и газов поверхностью пористого сорбента
69. Ионная вакуумная ловушка D. lonisierungsfalle Е. Ion trap F. ionique	Вакуумная ловушка, в которой для удаления определенных нежелательных компонентов из газовой смеси используется их ионизация
ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ
70. Быстрота откачки D. Е. Pumping rate F.		Величина, характеризующаяся объемом газа, откачиваемым в единицу времени в определенном сечении при данном давлении, измеренном в том же сечении
71. Быстрота действия вакуумного насоса D. Е. Volume flow rate of vacuum pump F. d'une pompe vide		Величина, характеризующаяся быстротой откачки, получаемой во входном сечении насоса при его работе
72. Наибольшее давление запуска вакуумного насоса D. Startdruck Е. Starting pressure F. Pression d'amorcage		Наибольшее давление во входном сечении вакуумного насоса, при котором насос может начать работать
73. Наибольшее выпускное давление вакуумного насоса D. Maximal Vorvakuumdruck Е. Maximum backing pressure F. Pression maximale de refoulement		Наибольшее давление в выходном сечении вакуумного насоса, при котором насос еще осуществляет откачку
74. Наибольшее рабочее давление вакуумного насоса D. Maximaler Arbeitsdruck Е. Maximum working pressure F. Pression maximale de fonctiounement		Наибольшее давление во входном сечении насоса, при котором насос длительное время сохраняет номинальную быстроту действия
75. Предельное остаточное давление вакуумного насоса D. Enddruck einer Vakuumpumpe Е. Ultimate pressure of vacuum pump F. Pression limite d'une pompe vide		Давление, к которому асимптотически стремится давление в стандартизованном испытательном объеме без выпуска газа и при нормально работающем насосе
76. Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды D. Maximal Wasserdampf Е. Maximum rate of handling water vapour F. de pompage de vapeur d'eau admissible		Наибольшее количество паров воды в весовых единицах, которое может откачиваться газобалластным вакуумным насосом при длительной работе в нормальных климатических условиях
77. Наибольшее допустимое давление паров воды D. Е. Maximum tolerable water vapour inlet pressure F. Pression maximale d'aspiration de vapeur d'eau		Наибольшее давление паров воды, измеренное во входном сечении насоса, при котором газобалластный вакуумный насос может длительно откачивать пары воды в нормальных климатических условиях
78. Степень сжатия вакуумного насоса D. Е. Compression ratio F. Taux de compression		Отношение объемов, занимаемых газом в начале и в конце процесса сжатия в вакуумных насосах объемного действия
ВАКУУММЕТРЫ
79. Вакуумметр D. Vakuummeter Е. Vacuummeter F. vide		По ГОСТ 8.271-77
80. Абсолютный вакуумметр D. Absolutes Vakuummeter Е. Absolute vacuum gauge F. absolu		Вакуумметр, чувствительность которого одинакова для всех газов и может быть рассчитана по измеряемым физическим величинам
81. Дифференциальный вакуумметр D. Differenzdruckvakuummeter Е. Differential vacuum gauge F.		Вакуумметр для измерения разности давлений, существующих одновременно по обе стороны разделительного чувствительного элемента
82. Измерительный преобразователь давления D. Druckmessunformer Е. Gauge pressure transducer F. Transducteur de mesure pression		По ГОСТ 8.271-77
83. Измерительный блок вакуумметра D. Betriebs und eines Е. Gauge control unit F. Coffret d'alimentation et de mesure		Часть вакуумметра, предназначенная для выработки сигнала измерительной информации в форме, доступной для непосредственного восприятия наблюдателем, и содержащая блок питания и все электрические цепи, необходимые для работы вакуумметра
84. Отсчетное устройство вакуумметра D. eines Е. Gauge indicating unit F. Dispositif indicateur		Часть измерительного блока вакуумметра, предназначенная для отсчитывания значений измеряемой величины
85. Вакуумметр полного давления D. Totaldruckvakuummeter Е. Total pressure vacuum gauge F. de pression totale		Вакуумметр для измерения суммарного давления, оказываемого всеми компонентами газовой смеси
86. Жидкостный вакуумметр D. Е. Liquid level manometer F. liquide		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления или разности давлений давлением столба жидкости
87. U-образный вакуумметр D. U-leitung Vakuummeter Е. U-tube vacuum gauge F. Avec unetube en U-		Жидкостный вакуумметр, состоящий из сообщающихся сосудов, в которых измеряемое давление определяют по одному или нескольким уровням жидкости
88. Компрессионный вакуумметр D. Kompressionsvakuummeter Е. Compression gauge F. compression		Жидкостный вакуумметр, в котором для измерения давления разреженного газа последний подвергается предварительному сжатию
89. Деформационный вакуумметр D. Federelastisches Vakuummeter Е. Elastic element gauge F.		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости деформации чувствительного элемента или развиваемой им силы от измеряемого давления
90. Мембранный вакуумметр D. Membranvakuummeter Е. Diaphragm gauge F. membrane		Деформационный вакуумметр, в котором чувствительным элементом является мембрана или мембранная коробка
91. Грузопоршневый вакуумметр D. Druckwaage Е. Pressure balance F. piston		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на уравновешивании измеряемого давления давлением, создаваемым массой поршня с грузоприемным устройством и грузами, с учетом сил жидкостного трения
92. Вязкостный вакуумметр D. Reibungsvakuummeter Е. Viscosity gauge F.		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости вязкости разреженного газа, определяемой движением в нем твердого тела, от измеряемого давления
93. Тепловой вакуумметр D. Е. Thermal conductivity gauge F. conduction thermique		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости теплопроводности разреженного газа от давления
94. Термопарный вакуумметр D. Thermokreuz Е. Thermocouple gauge F. thermocouple		Тепловой вакуумметр, в котором использована зависимость эдс термопары от измеряемого давления
95. Вакуумметр сопротивления D. Thermistor-Vakuummeter Е. Thermistor gauge F. thermistance		Тепловой вакуумметр, действие которого основано на зависимости электрического сопротивления нагреваемого током элемента от давления газа
96. Термомолекулярный вакуумметр D. Molekularvakuummeter Е. Thermo-molecular gauge F. thermomoleculaire		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на передаче чувствительному элементу суммарного импульса молекул газа, отражающихся от поверхностей, имеющих различную температуру
97. Ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter Е. lonisation vacuum gauge F. ionisation		Вакуумметр полного давления, действие которого основано на зависимости ионного тока, образованного в газе в результате ионизации молекул разреженного газа от давления
98. Радиоизотопный ионизационный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle Е. Radioactive ionization gauge F. source radioactive		Ионизационный вакуумметр, в котором для ионизации газа применяют излучение радиоактивных источников
99. Магнитный электроразрядный вакуумметр D. Е. Sputter ion gauge F. ionique pulverisation		Ионизационный вакуумметр, действие которого основано на зависимости тока электрического разряда в магнитном поле от измеряемого давления
100. Вакуумметр Пеннинга D. Penningvakuummeter Е. Penning gauge F. de Penning		Магнитный электроразрядный вакуумметр, преобразователь которого имеет рамочный анод, расположенный между катодными пластинами
101. Электронный ионизационный вакуумметр D. Elektronenionisations Vakuummeter Е. Electronic type ionization vacuum F. ionization faisceau		Ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого ионизация газа осуществляется электронами, ускоряемыми электрическим полем
102. Электронный ионизационный вакуумметр с осевым коллектором D. Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor Е. Twin-wire oscillator gauge F. oscillants		Электронный ионизационный вакуумметр, в котором фоновое давление уменьшено за счет использования в качестве коллектора ионов тонкой проволоки, помещенной соосно с цилиндрической сеткой, при этом катод укрепляют снаружи сетки
103. Экстракторный вакуумметр D. lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System E. Extractor gauge F. extracteur		Электронный ионизационный вакуумметр, в преобразователе которого фоновый ток уменьшен за счет использования в качестве коллектора ионов короткой и тонкой проволоки, находящейся на оси анода и выведенной из области ионизации
104. Электронный ионизационный вакуумметр с магнитным полем D. Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode E. Cold cathode magnetron gauge F. cathode froide		Электронный ионизационный вакуумметр, преобразователь давления которого представляет собой цилиндрический магнетрон, в котором магнитное поле используется для удлинения траектории электронов и увеличения числа образованных ионов
105. Индикатор с разрядной трубкой D. E. Discharge tube indicator F. Tube		Прозрачная газоразрядная трубка, в которой цвет и форма свечения разряда дают представление о роде и давлении газа
106. Вакуумметр парциального давления D. Partialdruckvakuummeter E. Partial pressure vacuum gauge F. Analyseur de pressions partielles		Вакуумметр для измерения давления, которое оказывал бы один из газов, входящих в газовую смесь, если из нее удалить остальные газы при условии сохранения первоначальных объема и температуры. Примечание. Обычно это масс-спектрометры, не имеющие собственной откачной системы
107. Масс-спектрометр D. Massenspektrometer E. Mass spectrometer F. de masse		По ГОСТ 15624-75
ХАРАКТЕРИСТИКИ ВАКУУММЕТРОВ
108. Диапазон измерений D. E. Pressure range F. Etendue de mesurage		По ГОСТ 16263-70*. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров этот диапазон зависит от природы газа. В таких случаях должен быть указан диапазон давлений для азота
________________ * На территории Российской Федерации действуют РМГ 29-99. Здесь и далее по тексту. - Примечание изготовителя базы данных.
109. Чувствительность D. Empfindlichkeit E. Sensitivity F.		По ГОСТ 16263-70. Примечание. Для некоторых типов вакуумметров чувствительность зависит от природы газа. В таких случаях должна быть указана чувствительность для азота
110. Относительная чувствительность вакуумметра D. Relative Vakuummeterempfindlicnkeit E. Relative sensitivity factor F. Facteur de relative		Отношение чувствительности вакуумметра для данного газа к чувствительности его для азота при том же давлении и идентичных условиях измерения
111. Приведенная чувствительность ионизационного вакуумметра D. Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters E. lonization gauge coefficient F. Coefficient d'un ionisation		Отношение ионного тока для данного газа к произведению ионизирующего тока и соответствующего давления
112. Эквивалентное азотное давление D. Stickstoffaquivalentdruck E. Equivalent nitrogen pressure F. Pression d'azote		Давление чистого азота, которое давало бы показание вакуумметра, равное показанию, вызванному воздействующим на него газом
113. Фоновое давление вакуумметра D. Untergrunddruck E. Background pressure F. Pression residuelle		Условное давление чистого азота, соответствующее такому же показанию ионизационного вакуумметра, как при остаточном токе, не зависящем от давления

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА РУССКОМ ЯЗЫКЕ

Агрегат вакуумный	7
Баллон вакуумный уравнительный	22
Блок вакуумметра измерительный	83
Быстрота действия вакуумного насоса	71
Быстрота откачки	70
Вакуум	1
Вакуумметр	79
Вакуумметр абсолютный	80
Вакуумметр вязкостный	92
Вакуумметр грузопоршневой	91
Вакуумметр деформационный	89
Вакуумметр дифференциальный	81
Вакуумметр жидкостный	86
Вакуумметр ионизационный	97
Вакуумметр ионизационный радиоизотопный	98
Вакуумметр ионизационный электронный	101
Вакуумметр ионизационный электронный с магнитным полем	104
Вакуумметр ионизационный электронный с осевым коллектором	102
Вакуумметр компрессионный	88
Вакуумметр магнитный электроразрядный	99
Вакуумметр мембранный	90
Вакуумметр парциального давления	106
Вакуумметр Пеннинга	100
Вакуумметр полного давления	86
Вакуумметр сопротивления	95
Вакуумметр тепловой	93
Вакуумметр термомолекулярный	96
Вакуумметр термопарный	94
Вакуумметр U-образный	87
Вакуумметр экстракторный	103
Ввод вакуумный	17
Давление вакуумметра фоновое	113
Давление вакуумного насоса выпускное наибольшее	73
Давление вакуумного насоса предельное остаточное	75
Давление запуска вакуумного насоса наибольшее	72
Давление вакуумного насоса наибольшее рабочее	74
Давление паров воды наибольшее допустимое	77
Давление эквивалентное азотное	112
Диапазон измерений	108
Затвор вакуумный	14
Индикатор с разрядной трубкой	105
Клапан вакуумный	13
Клапан вакуумный напускной	15
Крионасос вакуумный	65
Ловушка вакуумная	12
Ловушка вакуумная ионная	69
Ловушка вакуумная конденсационная	67
Ловушка вакуумная сорбционная	68
Масло вакуумное	4
Масс-спектрометр	107
Насос вакуумный	11
Насос вакуумный адсорбционный	58
Насос вакуумный бустерный	26
Насос вакуумный вращательный	35
Насос вакуумный газобалластный	33
Насос вакуумный газоперекачивающий	28
Насос вакуумный газоструйный	48
Насос вакуумный газоулавливающий	56
Насос вакуумный геттерный	59
Насос вакуумный геттерный испарительный	60
Насос вакуумный геттерно-ионный	61
Насос вакуумный двухроторный	40
Насос вакуумный диффузионный	51
Насос вакуумный диффузионно-эжекторный	52
Насос вакуумный диффузионный самоочищающийся	53
Насос вакуумный диффузионный фракционный	54
Насос вакуумный жидкостно-кольцевой	39
Насос вакуумный жидкостно-струйный	47
Насос вакуумный ионный	55
Насос вакуумный испарительно-ионный	62
Насос вакуумный кинетический	42
Насос вакуумный комбинированный	66
Насос вакуумный конденсационный	64
Насос вакуумный магнитный электроразрядный	63
Насос вакуумный механический	29
Насос вакуумный объемного действия	30
Насос вакуумный пароструйный	49
Насос вакуумный пластинчато-роторный	36
Насос вакуумный пластинчато-статорный	37
Насос вакуумный плунжерный	38
Насос вакуумный поршневой	31
Насос вакуумный предварительного разрежения	27
Насос вакуумный с масляным (жидкостным) уплотнением	32
Насос вакуумный с сухим уплотнением	34
Насос вакуумный сорбционный	57
Насос вакуумный струйный	46
Насос вакуумный трохоидный	41
Насос вакуумный эжекторный	50
Насос высоковакуумный	24
Насос низковакуумный	23
Насос форвакуумный	25
Натекатель вакуумный	16
Преобразователь давления измерительный	82
Производительность вакуумного насоса по парам воды наибольшая	76
Пост откачной	8
Система вакуумная	5
Сосуд откачиваемый вакуумный	9
Степень вакуума	3
Степень сжатия вакуумного насоса	78
Техника вакуумная	2
Трубопровод байпасный	20
Трубопровод вакуумный	18
Трубопровод форвакуумный	19
Турбонасос вакуумный	43
Турбонасос вакуумный осевой	44
Турбонасос вакуумный центробежный	45
Установка вакуумная	6
Устройство вакуумметра отсчетное	84
Устройство защитное вакуумное	21
Чувствительность	109
Чувствительность вакуумметра относительная	110
Чувствительность ионизационного вакуумметра приведенная	111
Элемент вакуумной системы	10

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА НЕМЕЦКОМ ЯЗЫКЕ

Absolutes Vakuummeter	80
Adsorptionspumpe	58
eines	84
Axialische Turbovakuumpumpe	44
Beluftungsvakuumventil	15
Betriebs und eines	83
Boostervakuumpumpe	26
Dampfstrahlvakuumpumpe	49
Differenzdruckvakuummeter	81
Diffusionsjekterpumpe	52
Diffusionsvakuumpumpe	51
Drehkolbenvakuumpumpe	37
Drehschiebervakuumpumpe	36
Druckausgleichskolben	22
Druckmessunformer	82
Druckwaage	91
Elektronenionisations Vakuummeter	101
Elektronenionisations Vakuummeter mit Axialkollektor	102
Empfindlichkeit	109
Enddruck einer Vakuumpumpe	75
Endvakuumpumpe	24
Falle	12
Federelastisches Vakuummeter	89
	39
	47
	86
Fraktionierende	54
Gasballastvakuumpumpe	33
Gasbindende Vakuumpumpe	56
Gasstrahlvakuumpumpe	48
Gastransfervakuumpumpe	28
Gettervakuumpumpe	59
Grobvakuumpumpe	23
	105
Hubkolbenvakuumpumpe	31
lonengettervakuumpumpe	61
lonentransferpumpe	55
lonenverdampfervakuumpumpe	62
	63
	99
lonisationsvakuummeter	97
lonisationsvakuummeter mit Extraktor-System	103
lonisationsvakuummeter mit radioaktiver Strahlungsquelle	98
lonisierungsfalle	69
Kinetische Vakuumpumpe	42
Kompressionsvakuummeter	88
	78
Kondensationspumpe	64
Kreiskolbenvakuumpumpe	41
Kryovakuumpumpe	65
	67
Magnetronvakuummeter mit kalter Kathode	104
Massenspektrometer	107
Maximal Wasserdampf	76
Maximal Vorvakuumdruck	73
Maximaler Arbeitsdruck	74
Membranvakuummeter	90
	108
Molekularvakuummeter	96
Nadelvakuumventil	16
(flussigkeitsgedichtete) Vakuumpumpe	32
Partialdruckvakuummeter	106
Penningvakuummeter	100
	71
Pumpstand	8
Radialische Turbovakuumpumpe	45
Reibungsvakuummeter	92
Relative Vakuummeterempfundlichkeit	110
Rotationsvakuumpumpe	29
	35
	70
Selbstreinigende	53
Sorptionsfalle	68
Sorptionspumpe	57
Sperrschiebervakuumpumpe	38
Startdruck	72
Stickstoffaquivalentdruck	112
Sublimationsgettervakuumpumpe	60
Thermistor-Vakuummeter	95
Thermokreuz	94
Totaldruckvakuummeter	85
Treibmittelstrachlvakuumpumpe	50
Treibmittelvakuumpumpe	46
Trockenlaufende Vakuumpumpe	34
Turbovakuumpumpe	43
U-leitung Vakuummeter	87
Umwegleitung	20
Untergrunddruck	113
Vakuum	1
Vakuumanlage	6
Vakuumbereiche	3
	17
Vakuumeinheit	7
Vakuumkamer	9
Vakuummeter	79
Vakuummeterkonstante eines lonisationsvakuummeters	111
Vakuumpumpe	11
	4
Vakuumpumpkombination	66
Vakuumrohrleitung	18
Vakuumschlensenventil	14
Vakuumsicherheitsvorrichtung	21
Vakuumsystem	5
Vakuumsystemselement	10
Vakuumtechnik	2
Vakuumventil	13
	30
Vorpumpenrohrleitung	19
Vorvakuumpumpe	25, 27
	40
	93
	77

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА АНГЛИЙСКОМ ЯЗЫКЕ

Absolute vacuum gauge	80
Admittance vacuum valve	15
Adsorption vacuum pump	58
Air admittance vacuum valve	16
Axial flow turbine vacuum pump	44
Background pressure	113
Backing line	19
Backing vacuum pump	25
Booster vacuum pump	26
Bypass line	20
Cold cathode magnetron gauge	104
Cold trap	67
Combined vacuum pump	66
Compression gauge	88
Compression ratio	78
Condenserpump	64
Cryopump	65
Diaphragm gauge	90
Differential vacuum gauge	81
Diffusion-ejector pump	52
Diffusion pump	51
Discharge tube indicator	105
Dry-sealed vacuum pump	34
Ejector vacuum pump	50
Elastic element gauge	89
Electronic type ionization vacuum	101
Element of vacuum system	10
Entrapment vacuum pump	56
Equal vessel	22
Equivalent nitrogen pressure	112
Extractor gauge	103
Fractionating diffusion pump	54
Gas ballast vacuum pump	33
Gas jet vacuum pump	48
Gauge control unit	83
Gauge indicating unit	84
Gauge pressure transducer	82
Getter ion vacuum pump	61
Getter vacuum pump	59
High vacuum pump	24
Ion transfer vacuum pump	55
Ion trap	69
Ionization gauge coefficient	111
Ionization vacuum gauge	97
Jet kinetic vacuum pump	46
Kinetic vacuum pump	42
Liquid jet vacuum pump	47
Liquid level manometer	86
Liquid ring vacuum pump	39
Mass spectrometer	107
Maximum backing pressure	73
Maximum rate of handling water vapour	76
Maximum tolerable water vapour inlet pressure	77
Maximum working pressure	74
Oil-sealed (liquid-sealed) vacuum pump	32
Partial pressure vacuum gauge	106
Penning gauge	100
Piston vacuum pump	31
Positive displacement vacuum pump	30
Pressure balance	91
Pressure range	108
Pumped container	9
Pumping rate	70
Pumping station	8
Pump for gas transporting	28
Radial flow turbine vacuum pump	45
Radioactive ionization gauge	98
Ranges of vacuum	3
Relative sensitivity factor	110
Roots vacuum pump	40
Rotary piston vacuum pump	37
Rotary plunger vacuum pump	38
Rotary vacuum pump	35
Rough vacuum pump	23
Roughing vacuum pump	27
Self purifying diffusion pump	53
Sensitivity	109
Sliding vane rotary vacuum pump	36
Sorption trap	68
Sorption vacuum pump	57
Sputter ion gauge	99
Sputter ion pump	63
Starting pressure	72
Sublimation ion vacuum pump	62
Sublimation vacuum pump	60
Thermal conductivity gauge	93
Thermistor gauge	95
Thermocouple gauge	94
Thermo-molecular gauge	96
Total pressure vacuum gauge	85
Trap	12
Trochoid pump	41
Turbine vacuum pump	43
Twin-wire oscillator gauge	102
Ultimate pressure of vacuum pump	75
U-tube vacuum gauge	87
Vacuum	1
Vacuum feedthrough	17
Vacuum gate valve	14
Vacuum mechanical pump	29
Vacuum pipework	18
Vacuum plant	6
Vacuum protective device	21
Vacuum pump	11
Vacuum pump oil	4
Vacuum system	5
Vacuum technology	2
Vacuum unit	7
Vacuum valve	13
Vacuummeter	79
Vapour jet vacuum pump	49
Viscosity gauge	92
Volume flow rate of vacuum pump	71

АЛФАВИТНЫЙ УКАЗАТЕЛЬ ТЕРМИНОВ НА ФРАНЦУЗСКОМ ЯЗЫКЕ

Analyseur de pressions partielles	106
Avec unetube en U-	87
Ballon de pression	22
de pompage de vapeur d'eau admissible	76
Coefficient d'un ionisation	111
Coffret d'alimentation et de mesure	83
Conduite bypass	20
Conduite vide	18
Conduite vide	19
d'une pompe vide	71
	70
turbine	43
turbine flux axial	44
turbine flux radial	45
roots	40
Dispositif de	21
Dispositif indicateur	84
Domaines de vide	3
Ejecteur gaz pour Ie vide	48
Ejecteur vapeur pour Ie vide	49
Element du vide	10
Enceinte	9
Etendue de mesurage	108
Facteur de relative	110
Huile de pompe vide primaire	4
Installation de vide	6
compression	88
conduction thermique	93
	89
differentiel	81
oscillants	102
extracteur	103
ionisation	97
ionisation faisceau	101
liquide	86
membrane	90
piston	91
source radioactive	98
thermistance	95
thermocouple	94
vide	79
	92
absolu	80
de Penning	100
de totale	85
	81
ionique pulverisation	99
cathode froide	104
thermomoleculaire	96
Passage du vide	17
	12
sorption	68
ionique	69
refroidi	67
Pompe diffusion	51
Pompe diffusion autorectifiante	53
Pompe diffusion et ejecteur	52
Pompe diffusion fractionnante	54
Pompe ionisation vide	55
Pompe vide	11
Pompe vide anneau liquide	39, 47
Pompe vide bain d'huile ( bain de liquide)	32
Pompe vide ejecteur	50
Pompe vide fixation	56
Pompe vide physisorption	58
Pompe vide injection de gaz	33
Pompe vide jet	46
Pompe vide palettes	36
Pompe vide piston alternatif	31
Pompe vide piston oscillant	38
Pompe vide piston tournant	37
Pompe vide sorbeur	59
Pompe vide sorption	57
Pompe vide sublimation sorbeur	60
Pompe vide	42
Pompe vide	66
Pompe vide du transport gazeus	28
Pompe vide	26
Pompe vide ionique sorbeur	61
Pompe vide ionique sublimation	62
Pompe vide primaire	23
Pompe vide	34
Pompe vide secondaire	24
Pompe vide tournant	35
Pompe vide	30
Pompe condenser	64
Pompe cryostatique	65
Pompe ionique	63
Pompe vide	29
Pompe pour Ie vide	27
Pompe primaire pour Ie vide	25
Pompe trochoide	41
Pression d'amorcage	72
Pression d'azote	112
Pression maximale de fonctionnement	74
Pression maximale de refoulement	73
Pression limite d'une pompe vide	75
Pression maximale d'aspiration de vapeur d'eau	77
Pression residuelle	113
Robinet aiguille	16
Robinet d'air	15
	109
Soupape de vide	13
de masse	107
Stand de pompage	8
vide	5
Taux de compression	78
Technique du vide	2
Transducteur de mesure pression	82
Tube	105
vide	7
	14
Vide	1

ПРИЛОЖЕНИЕ 1 (справочное). ТЕРМИНЫ, ПРИМЕНЯЕМЫЕ В ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКЕ

ПРИЛОЖЕНИЕ 1
Справочное

Термин	Определение
1. Газ	Состояние вещества, при котором движение молекул практически не ограничено межмолекулярными силами, так что вещество может занимать любое доступное пространство. Примечания: 1. Под газом понимают химически индивидуальный газ и смесь газов. 2. В вакуумной технике этот термин применяют к неконденсирующемуся газу и к пару
2. Неконденсирующийся газ	Газ, который во всем диапазоне рабочих температур не может быть переведен в конденсированную фазу только путем увеличения его давления
3. Идеальный газ	По ГОСТ 23281-78
4. Парциальное давление газа	Давление, оказываемое химически индивидуальным газом, содержащимся в газовой смеси, равное давлению, которое оказывал бы этот газ, если удалить из занимаемого газовой смесью объема остальные газы, при условии сохранения первоначальных объема и температуры
5. Полное давление газа	Сумма парциальных давлений компонентов газовой смеси. Примечание. Термин применяют, если термин "Давление" четко не указывает на разницу между отдельными парциальными давлениями и их суммой
6. Давление газа на ограничивающую поверхность	Нормальная составляющая силы, действующей со стороны газа на ограничивающую поверхность, деленная на площадь этой поверхности. Примечание. 1. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию поверхности по отношению к вектору этого потока. 2. Термин "Давление" без дополнительных определений означает статическое давление в газе при его установившемся течении
7. Давление в определенной точке газового пространства	Скорость переноса нормальной составляющей количества движения, связанного с движением молекул в обоих направлениях через площадку на воображаемой плоскости, проходящей через эту точку, деленная на величину этой площадки. Примечание. При наличии потока молекул газа указывают ориентацию плоскости по отношению к вектору этого потока
8. Количество газа	Произведение объема, занимаемого газом, находящимся в равновесном состоянии, на его давление
9. Пар	Газ, верхний предел рабочих температур которого ниже критической температуры сжижения
10. Насыщенный пар	Пар, находящийся при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из конденсированных фаз рассматриваемого вещества
11. Давление насыщенного пара	Давление пара, находящегося при данной температуре в термодинамическом равновесии с одной из его конденсированных фаз
12. Ненасыщенный пар	Пар, давление которого меньше давления насыщенного пара рассматриваемого вещества при заданной температуре
13. Степень насыщения пара	Отношение давления пара к давлению насыщенного пара
14. Молекулярная концентрация	Число молекул газа в единице объема
15. Молекулярная концентрация заданного компонента	Число молекул заданного компонента в единице объема
16. Плотность газа	Масса единицы объема газа
17. Плотность газа, приведенная к единице давления	Плотность газа, деленная на его давление
18. Длина свободного пути молекул	Длина пути, пройденного молекулой между двумя последовательными столкновениями с другими молекулами
19. Средняя длина свободного пути молекулы	Среднее арифметическое значение длин свободного пути молекул
20. Число столкновений молекул в единицу времени	Среднее арифметическое число столкновений, испытываемое молекулой за единицу времени при движении ее относительно других молекул
21. Число столкновений молекул в единице объема за единицу времени	-
22. Диффузия газа	Движение газа в другой среде под влиянием градиента концентрации. Примечание. Средой может быть другой газ (в этом случае наблюдается взаимная диффузия) или конденсированная фаза
23. Коэффициент диффузии газа	По ГОСТ 23281-78
24. Течение газа	Перемещение газа в трубопроводе под действием разности давлений или температур на его концах
25. Ламинарное течение	По ГОСТ 23281-78
26. Турбулентное течение	По ГОСТ 23281-78
27. Вязкостное течение	Течение газа в трубопроводе в условиях, когда средняя длина свободного пути молекул очень мала по сравнению с наименьшим внутренним поперечным размером трубопровода, так что поток зависит от плотности газа. Примечание. Течение может быть ламинарным или турбулентным
28. Пуазейлевское течение	Ламинарное вязкостное течение в длинной трубе круглого сечения
29. Молекулярное течение	Течение газа в трубопроводе при условиях, когда средняя длина свободного пути молекул значительно превышает внутренний размер поперечного сечения трубопровода
30. Молекулярно-вязкостное течение	Течение газа в трубопроводе при условиях, промежуточных между ламинарным вязкостным течением и молекулярным течением
31. Эффузионное течение	Течение газа через отверстие, когда наибольший размер отверстия меньше средней длины свободного пути молекул
32. Температурная транспирация	Течение газа между соединенными сосудами вследствие разности температур сосудов, результатом которой является образование градиента давлений
33. Поток молекул	Число молекул, проходящих через некоторое сечение в единицу времени
34. Результирующий поток молекул	Разность числа молекул, пересекающих в единицу времени некоторую поверхность в одном направлении, и числа молекул, пересекающих ее в обратном направлении
35. Плотность потока молекул	Результирующий поток молекул, деленный на площадь поверхности, которую он пересекает
36. Массовый поток газа	Масса газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени
37. Объемный поток газа	Объем газа при указанных температуре и давлении, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени
38. Молярный поток газа	Число молей газа, пересекающего некоторую поверхность за единицу времени
39. Распределение Максвелла по скоростям	Распределение по скоростям, соответствующее функции распределения Максвелла-Больцмана. Примечание. Распределение Максвелла-Больцмана по скоростям соответствует распределению по скоростям молекул газа, находящегося в состоянии равновесия при заданной температуре на расстоянии от стенок сосуда намного большем, чем средняя длина свободного пути молекул
40. Вероятность прохождения	Вероятность того, что молекула, вошедшая через входное отверстие канала, выйдет через его выходное отверстие и не пройдет входное отверстие в обратном направлении
41. Проводимость элемента вакуумной системы	Свойство, характеризуемое отношением потока газа, проходящего по каналу или через отверстие, к разности давлений в двух указанных сечениях канала или по обеим сторонам отверстия
42. Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы	Проводимость в частном случае, когда канал (или отверстие) соединяет два сосуда при условии максвелловского распределения молекул по скоростям в обоих сосудах. Примечание. В случае молекулярного течения внутренняя проводимость равна произведению проводимости входного отверстия и вероятности его прохождения
43. Молекулярная проводимость элемента вакуумной системы	Проводимость, определяемая отношением потока молекул к разности средних чисел молекул в единице объема по обеим сторонам отверстия или в двух поперечных сечениях канала
44. Сопротивление элемента вакуумной системы	Величина, обратная проводимости элемента вакуумной системы
45. Сорбция	Захват газа или пара твердым телом или жидкостью
46. Адсорбция	Сорбция, при которой газ или пар удерживаются на поверхности твердого вещества или жидкости
47. Абсорбция	Сорбция, при которой газ диффундирует в объем твердого тела или жидкости
48. Физическая сорбция	Сорбция под действием физических сил, при которой не образуются химические связи
49. Хемосорбция	Сорбция, при которой происходит образование химических связей
50. Коэффициент аккомодации	Величина, определяемая отношением средней энергии, реально передаваемой поверхности налетающими молекулами, к средней энергии, которая была бы передана поверхности налетающими молекулами, если бы они отрывались от поверхности после достижения с нею полного теплового равновесия
51. Частота столкновений	Число молекул, сталкивающихся с единицей площади поверхности в единицу времени
52. Скорость конденсации	Число молекул, конденсирующихся на единице площади поверхности в единицу времени
53. Скорость прилипания	Число молекул, сорбируюшихся на единице площади поверхности в единицу времени
54. Вероятность прилипания	Отношение скоростей прилипания к частоте столкновений
55. Время удержания	Среднее время, в течение которого молекулы удерживаются на поверхности в состоянии сорбции
56. Миграция	Движение молекул на поверхности
57. Десорбция	Освобождение газов или паров, сорбированных каким-либо материалом
58. Скорость десорбции	Количество газа, десорбирующееся с единицы площади поверхности в единицу времени
59. Скорость испарения	Число молекул вещества, испаряющегося с единицы площади поверхности в единицу времени
60. Просачивание	Процесс прохождения газа через твердый барьер. Примечание. Процесс включает в себя диффузию газа в твердом теле и различные поверхностные явления
61. Проницаемость твердой перегородки	Отношение потока газа через перегородку к потоку газа через то же сечение при отсутствии перегородки, являющееся функцией давлений по обе стороны перегородки и структуры перегородки
62. Коэффициент проницаемости газа	Величина, определяемая произведением проницаемости на отношение толщины перегородки к ее площади
63. Условный проход	Диаметр проходного сечения элемента вакуумной системы, определяющий присоединительные размеры по действующим стандартам
64. Манометр	По ГОСТ 8.271-77
65. Откачка	Уменьшение молекулярной концентрации газа при помощи устройств, удаляющих или поглощающих газ
66. Газовыделение	Самопроизвольное выделение газа из материала в вакуум
67. Обезгаживание	Принудительное удаление газа из материала
68. Обратная диффузия	Диффузия газа в направлении, противоположном направлению откачки
69. Обратная миграция	Поверхностная миграция масла в откачиваемый объем по внутренним поверхностям вакуумной системы в направлении, противоположном направлению откачки
70. Рабочее вещество	Вещество или его пары, используемое для увлечения откачиваемых газов в струйных вакуумных насосах
71. Радиочастотный масс-спектрометр	Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в радиочастотном продольном электрическом поле
72. Квадрупольный масс-спектрометр	Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, образованного четырьмя параллельными электродами
73. Монополярный масс-спектрометр	Масс-спектрометр, в котором разделение ионов происходит в высокочастотном электрическом поле анализатора, состоящего из двух электродов
74. Масс-спектрометр с магнитным отклонением	Масс-спектрометр, в котором ускоренные ионы, имеющие разные массы, под действием магнитного поля движутся по различным круговым траекториям
75. Циклоидальный масс-спектрометр	Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются скрещенными электрическим и магнитным полями, в которых они следуют по различным циклоидным траекториям, в результате чего ионы фиксируются в разных точках в зависимости от отношения массы к заряду
76. Омегатронный масс-спектрометр	Масс-спектрометр, в котором ионы разделяются при движении по спиральным траекториям в радиочастотном электрическом и постоянном магнитном полях, перпендикулярных друг другу
77. Времяпролетный масс-спектрометр	Масс-спектрометр, в котором газ ионизируется электронным пучком с импульсной модуляцией и ускоряющиеся в пространстве дрейфа ионы разделяются по времени прибытия на коллектор в зависимости от отношения массы иона к заряду

ПРИЛОЖЕНИЕ 2 (справочное). ИНФОРМАЦИОННЫЕ ДАННЫЕ О СООТВЕТСТВИИ ГОСТ 5197-85 СТ СЭВ 4839-84 И СТ СЭВ 4751-84

ПРИЛОЖЕНИЕ 2
Справочное

Термин по ГОСТ 5197-85	Термин по СТ СЭВ 4839-84, по СТ СЭВ 4751-84
Вакуумная ловушка	Ловушка
Вакуумное защитное устройство	Устройство задержки газового потока
Бустерный вакуумный насос	Бустерный насос
Вакуумный насос предварительного разрежения	Насос предварительного разрежения
Трохоидный вакуумный насос	Трохоидальный вакуумный насос
Струйный вакуумный насос	Струйный кинетический вакуумный насос
Газоструйный вакуумный насос	Газоэжекторный вакуумный насос
Пароструйный вакуумный насос	Пароэжекторный вакуумный насос
Вакуумный крионасос	Криогенный вакуумный насос
Испарительный геттерный вакуумный насос	Сублимационный вакуумный насос
Рабочее вещество	Откачивающий элемент
Конденсационная вакуумная ловушка	Конденсационная охлаждаемая ловушка
Сорбционная вакуумная ловушка	Сорбционная ловушка
Ионная вакуумная ловушка	Ионная ловушка
Быстрота откачки	Быстрота откачки вакуумного насоса
Молекулярная концентрация заданного компонента	Концентрация молекул заданного компонента
Число столкновений в единице объема за единицу времени	Объемное число столкновений в единицу времени
Полное давление газа	Полное давление
Парциальное давление газа	Парциальное давление
Массовый поток газа	Массовый расход газа
Объемный поток газа	Объемный расход газа
Молярный поток газа	Молярный расход газа
Проницаемость твердой перегородки	Проницаемость
Физическая сорбция	Физисорбция
Средняя длина свободного пути молекул	Средняя длина свободного пробега молекул
Проводимость элемента вакуумной системы	Проводимость
Внутренняя проводимость элемента вакуумной системы	Внутренняя проводимость
Сопротивление элемента вакуумной системы	Сопротивление
Проницаемость твердой перегородки	Проницаемость
Коэффициент проницаемости газа	Коэффициент проницаемости
Наибольшее давление запуска вакуумного насоса	Наибольшее давление запуска вакуумного насоса (начальное давление)
Предельное остаточное давление вакуумного насоса	Предельное давление вакуумного насоса
Наибольшая производительность вакуумного насоса по парам воды	Производительность вакуумного насоса по водяному пару
Наибольшее допустимое давление паров воды	Максимально допустимое впускное давление водяного пара

ОБЩИЕ ПОНЯТИЯ

ВАКУУМНАЯ СИСТЕМА И ЕЕ ЭЛЕМЕНТЫ

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

ГАЗОПЕРЕКАЧИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

ГАЗОУЛАВЛИВАЮЩИЕ ВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ

ВИДЫ ВАКУУМНЫХ ЛОВУШЕК

ПАРАМЕТРЫ И ХАРАКТЕРИСТИКИ